alpha 1000C

Allgemeine Charakteristika900C

Die Anlagenserie alpha1000C ist unsere derzeit größte Magnetron-Sputter-Anlage.

Damit ist es möglich, insbesondere reibungsreduzierende Beschichtungen auf Kohlenstoff – oder MoS2-Basis auszuführen. Unsere DLC-Schicht SUCASLIDE® kann z.B. mit dieser Anlage hergestellt werden. Und durch das hohe Nutzvolumen und die vergleichsweise kurzen Zykluszeiten eignet sich diese Maschinen z.B. auch für die prozesssichere und kostengünstige Beschichtung von Komponenten oder Serienteilen. Auch die Abscheidung von nitridischen Hartstoffschichten bei Substrattemperatur < 250°C  ist möglich.

Mit der alpha1000C kann man auch bei höheren Stückzahlen oder größeren Bauteilen effizient und schnell beschichten. Eine einfache und sichere Bedienung ist durch die eigenentwickelte Steuerungssoftware AlphaControl gegeben.

Einsatzgebiet
Die alpha1000C ist für den Einsatz in folgenden Bereichen vorgesehen:

Technologie
Die Ergebnisse langjähriger Schicht- und Technologieentwicklung sowie des kontinuierlichen Austauschs mit den Nutzern sind in die Entwicklung dieser neuen Anlagengeneration mit eingeflossen. Mittels eifeler-PVD-Technologie können auf diesem Anlagentyp folgende Schichten zuverlässig und in hoher Qualität abgeschieden werden:

Technik
Leistungsfähige Vakuumpumpen, eine Meissnerfalle und die eingebaute Strahlungsheizung sorgen für eine zügige Konditionierung der Werkzeuge und damit für kurze Zykluszeiten. Eingebaute Shutter verhindert das Zubeschichten von 2 Targets. Das relativ kompakte Gehäuse ermöglicht den leichten Zugang zu allen wichtigen Komponenten.

Chargiersystem
Durch das leicht handhabbare Chargiersystem wird ein schneller Wechsel der Beladung und eine homogene Beschichtung gewährleistet. eifeler-Vacotec bietet ein umfassendes Programm an Chargiermitteln an. Egal ob Abdeckhülsen für Schaftwerkzeuge, Steckhalter oder Rotationscups: wir haben einen Katalog, in den mehr als 25 Jahre Lohnbeschichtungserfahrung eingeflossen ist.

Wartung und Service
Die große Kammertür bietet optimale Reinigungs-, Beladungs- und Wartungsmöglichkeiten. Der Zugriff auf die Daten ist während des gesamten Prozesses genauso möglich wie die Fernsteuerung zur Fernwartung.

Technische Daten

Substrat
Material: Werkzeugstähle, HSS, Hartmetall, …
Werkzeugdurchmesser: Dreifachrotation max. Ø 40 mm
Einfachrotation: max. Ø 650 mm
Substrathöhe: max. 1000 mm
Beladung: max. 850 kg
Beschichtungskammer
Abmaße: 865 x 865 x 1520 mm (L x B x H)
Vakuumsystem
Drehschieberpumpe: 65 m³/h
Wälzkolbenpumpe: 500 m³/h
Turbomolekularpumpe: 2 x 1450 l/s
Kryo-Pumpe: 1 x Meissnerfalle
Heizstrahler
Leistung: 4 x 7 kW
Substrattemperatur: unter 250 °C
Messung am Substrat: 2 x PT 1000
Bias Stromversorgung
Leistung: max. 10 kW
Spannung: max. 700 V DC oder unipolar gepulst
Puls Frequenz: 5 … 250 kHz
Magnetrons
Anzahl: 6 Stück (2 St. mit Shutter)
Abmessung: 1243 x 145 mm
Leistung pro Target: max. 10kW
Leistungsaufnahme
Netzform / Spannung: TN-S 400/230 VAC / +- 10% / 50 oder 60 Hz
Leistung: 83 kVA

eifeler Unternehmensgruppe

Ihr kompetenter Partner in allen Beschichtungsfragen!

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