alpha 400P

a400p

Allgemeine Charakteristik

Die mittelgroße Arc-PVD-Anlage alpha400P vereint Flexibilität und hohen Durchsatz.  Die als Fast-Cycle-Kompaktanlage entwickelte Anlage zeigt sich als leicht zu bedienende Beschichtungsanlage mit hohen Abscheideraten. Neben der Abscheidung von Hartstoffschichten wird die Anlage auch für die In-situ-Plasmanitrierung (eifeler Duplex-Technologie) eingesetzt. Die Verwendung der SPCS-Technologie für Schichten, die in Glätte und Dichte extrem hohe Anforderungen gerecht werden, ist genauso möglich.

Einsatzgebiet
Die alpha400P ist für den Einsatz in folgenden Bereichen vorgesehen:

Technologie
Die Ergebnisse langjähriger Schicht- und Technologieentwicklung sowie des kontinuierlichen Austauschs mit den Nutzern sind in die Entwicklung dieser neuen Anlagengeneration mit eingeflossen. Mittels eifeler-PVD-Technologie können auf den Anlagen folgende Schichten zuverlässig und in hoher Qualität abgeschieden werden:

Technik
Leistungsfähige Vakuumpumpen und starke Strahlungsheizungen sorgen für eine zügige Konditionierung der Werkzeuge und damit für kurze Zykluszeiten. Das kompakte Gehäuse ermöglicht den leichten Zugang zu allen wichtigen Komponenten.

Chargiersystem
Durch das leicht handhabbare Chargiersystem wird ein schneller Wechsel der Beladung und eine homogene Beschichtung gewährleistet. Eifeler-Vacotec bietet ein umfassendes Programm an Chargiermitteln an. Egal ob Abdeckhülsen für Schaftwerkzeuge, Steckhalter oder Rotationscups: wir haben einen Katalog, in den mehr als 25 Jahre Lohnbeschichtungserfahrung eingeflossen ist.

Wartung und Service
Die große Kammertür bietet optimale Reinigungs-, Beladungs- und Wartungsmöglichkeiten. Der Zugriff auf die Daten ist während des gesamten Prozesses genauso möglich wie die Fernsteuerung zur Fernwartung.

Technische Daten

Substrat
Material: Werkzeugstähle, HSS, Hartmetall, ..
Teiledurchmesser: Dreifachrotation max. Ø 40 mm
Einfachrotation: max. Ø 450 mm
Substrathöhe: max. 485 mm
Beladung: max. 300 kg
Beschichtungskammer
Abmaße: 700 x 775 x 750 mm (L x B x H)
Vakuumsystem
Drehschieberpumpe: 65 m³/h
Wälzkolbenpumpe: 500 m³/h
Turbomolekularpumpe: 1450 l/s
Heizstrahler
Leistung: 2 x 10 kW
Substrattemperatur: bis 500 °C
Messung am Substrat: 2 x Thermoelement
Bias Stromversorgung
Leistung: 30 kW
Spannung: max. 1000 V DC / gepulste DC (5…30KHz)
Arc-Verdampfer
Anzahl: 12 Stück
Kathodendurchmesser: Ø 100 mm
Strom je Kathode: max. 125 A
Leistungsaufnahme
Netzform / Spannung: TN-S 400/230 VAC / +-10% / 50 oder 60 Hz
Leistung: 69 kVA
 

eifeler Unternehmensgruppe

Ihr kompetenter Partner in allen Beschichtungsfragen!

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