voestalpine eifeler Unternehmensgruppe

alpha 400C

Allgemeine Charakteristik

Die Anlagenserie alpha400C ist unsere kleinste Magnetron-Sputter-Anlage.

Mit ihr ist es möglich, insbesondere reibungsreduzierende Beschichtungen auf Kohlenstoff – oder MoS2-Basis auszuführen. Unsere DLC-Schicht SUCASLIDE® kann z.B. mit dieser Anlage hergestellt werden. Aber auch die Abscheidung von nitridischen Hartstoffschichten bei Substrattemperatur < 250°C ist möglich.

Da die PVD-Arc-Anlage alpha 400P und diese hier beschriebene Sputter-Anlage alpha400C auf dem gleichen Planetary aufbauen, kann man komfortabel eine Hartstoffschicht mit einer darüberliegenden MoS2-Schicht zur Reibungsreduzierung abscheiden.

Gerade für Anwendungen, bei denen nicht oder nur sehr wenig geschmiert werden kann, ist dies eine sehr starke Kombination.

Mit der alpha400C bietet voestalpine eifeler Vacotec eine flexible und produktive neue Dimension von Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlagen an.
Die als Fast-Cycle-Kompaktanlage entwickelte Anlage zeigt sich als leicht zu bedienende Beschichtungsanlage mit vergleichsweise hohen Abscheideraten.

Einsatzgebiet
Die alpha400C ist für den Einsatz in folgenden Bereichen vorgesehen:

  • für die reibungsreduzierenden Beschichtung von nicht zu großen Teilen oder Werkzeugen
  • im Bereich F&E, wenn eine kompakte, äußerst flexible Sputteranlage gesucht wird
  • in Produktionslinien von Originalteilehersteller (OEM) bei hohem Durchsatz gleichartiger Teile als integraler Bestandteil des Systems

Technologie
Mittels eifeler-PVD-Technologie können auf diesem Anlagentyp folgende Schichten zuverlässig und in hoher Qualität abgeschieden werden:

  • Tribologische Schichten auf MoS2-Basis
  • Tribologische Schichten auf Kohlenstoffbasis (DLC), wie z.B. SUCASLIDE®
  • Nitridische Hartstoffschichten bei niedrigen Substrattemperaturen, z.B. CrN-basierte Schichten

Technik
Leistungsfähige Vakuumpumpen, eine Meissnerfalle und die eingebaute Strahlungsheizung sorgen für eine zügige Konditionierung der Werkzeuge und damit für kurze Zykluszeiten. Das kompakte Gehäuse ermöglicht den leichten Zugang zu allen wichtigen Komponenten.

Chargiersystem
Durch das leicht handhabbare Chargiersystem wird ein schneller Wechsel der Beladung und eine homogene Beschichtung gewährleistet. voestalpine eifeler Vacotec bietet ein umfassendes Programm an Chargiermitteln an. Egal, ob Abdeckhülsen für Schaftwerkzeuge, Steckhalter oder Rotationscups: wir haben einen Katalog, in den mehr als 25 Jahre Lohnbeschichtungserfahrung eingeflossen ist.

Wartung und Service
Die große Kammertür bietet optimale Reinigungs-, Beladungs- und Wartungsmöglichkeiten. Der Zugriff auf die Daten ist während des gesamten Prozesses genauso möglich wie die Fernsteuerung zur Fernwartung.

Technische Daten

Substrat
Material: Werkzeugstähle, HSS, Hartmetall, …
Werkzeugdurchmesser: Dreifachrotation max. Ø 40 mm
Einfachrotation: max. Ø 450 mm
Substrathöhe: max. 485 mm
Beladung: max. 300 kg
Beschichtungskammer
Abmaße: 770 x 650 x 750 mm (L x B x H)
Vakuumsystem
Drehschieberpumpe: 65 m³/h
Wälzkolbenpumpe: 500 m³/h
Turbomolekularpumpe: 1450 l/s
Kryo-Pumpe: 1 x Meissnerfalle
Heizstrahler
Leistung: 1 x 10 kW
Substrattemperatur: unter 250 °C
Messung am Substrat: 2 x PT 1000
Bias Stromversorgung
Leistung: 10 kW
Spannung: max. 700 V DC oder unipolar gepulst
Puls Frequenz: 5 … 250 kHz
Magnetrons
Anzahl: 4 Stück (1 St. mit Shutter)
Abmessung: 643 x 145 mm
Leistung pro Target: max. 6 kW
Leistungsaufnahme
Netzform / Spannung: TN-S 400/230 VAC / +- 10% / 50 or 60 Hz
Leistung: 50 kVA