Sputter Technologie

Die Magnetron-Sputteranlagen von voestalpine eifeler Vacotec sind dafür ausgelegt, haftfeste und gleitgünstige Beschichtungen auf Basis von MoS₂ oder DLC abzuscheiden.

Eingesetzt werden diese Beschichtungen meist für Bauteile oder Werkzeuge, um die Gleiteigenschaften an der Oberfläche zu verbessern.
Reibungskoeffizienten < 0,1 sind im Kontakt mit Stahl ohne weiteres zu erreichen.

Magnetron-Sputter Maschinen:

• alpha 400C
• alpha 1000C

Unsere Sputteranlagen zeichnen sich durch folgende Eigenschaften aus:

• starke Hochvakuumpumpen und Kühlfallen für kurze Prozesszeiten
• Beschichtungen bei < 200°C möglich
• Gepulste Bias-Stromquelle
• Prozessgase sind individuell steuerbar
• Heizungen
• Target-Shutter.

Wie alle PVD-Maschinen bieten diese Maschinen auch die benutzerfreundliche und intuitive Software AlphaControl. Egal ob Sputter- oder Arc-Anlage, die Benutzersoftware ist identisch aufgebaut.