voestalpine eifeler Unternehmensgruppe

Sputter Technologie

Die Magnetron-Sputteranlagen von voestalpine eifeler Vacotec sind dafür ausgelegt, haftfeste und gleitgünstige Beschichtungen auf Basis von MoS2 oder DLC abzuscheiden.

Eingesetzt werden diese Beschichtungen meist für Bauteile oder Werkzeuge, um die Gleiteigenschaften an der Oberfläche zu verbessern.
Reibungskoeffizienten < 0,1 sind im Kontakt mit Stahl ohne weiteres zu erreichen.

Magnetron-Sputter Maschinen:

Unsere Sputteranlagen zeichnen sich durch folgende Eigenschaften aus:

  • starke Hochvakuumpumpen und Kühlfallen für kurze Prozesszeiten
  • Beschichtungen bei < 200°C möglich
  • Gepulste Bias-Stromquelle
  • Prozessgase sind individuell steuerbar
  • Heizungen
  • Target-Shutter.

Wie alle PVD-Maschinen bieten diese Maschinen auch die benutzerfreundliche und intuitive Software AlphaControl. Egal ob Sputter- oder Arc-Anlage, die Benutzersoftware ist identisch aufgebaut.