Sputtern

Das Sputtern ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen) herausgelöst werden und in die Gasphase übergehen.

Das Sputtern wird meistens als Sputterdeposition, eine Gruppe der zur PVD-Verfahren gehörende hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik, verstanden.

Ein Beispiel hierfür ist die MoS₂-Beschichtung. Molybdän-Disulfid als Festschmierstoff wird häufig und erfolgreich als Gleitschicht auf Hartstoffschichten abgeschieden. Die lange wirksam bleibende Schicht ermöglicht auch eine deutliche Verbesserung des Reibwiderstandes. Sie steigert die Gesamtstandzeit und wirkt gegen adhäsiven Verschleiß.

Auch die Beschichtung von Bauteilen und Werkzeugen zur Verbesserung der Reibungsbedingungen, ohne vorherige Hartstoffschicht, ist möglich!

DLC-Schichten (diamond like carbon = amorpher Kohlenstoff) können mittels Sputtern erzeugt werden.
Diese Schichten verbinden einen sehr niedrigen Reibungskoeffizienten mit einer guten Verschleißbeständigkeit.